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提高洁净能力，KLC为中国集成电路产业护航
- 时间：2019-08-07
- 作者：KLC环境科技
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在第十三届全国人大会议的政府工作报告中，“推动集成电路产业发展”列入了实体经济发展的第一位。集成电路作为信息产业的基础，被广泛应用于计算机、家用电器、数码电子、自动化、电气、通信、交通、医疗、航空航天等领域，被誉为“工业粮食”。而在未来发展的新兴应用领域，如人工智能、传感器、可穿戴设备、工业机器人等，集成电路都是不可或缺的基础。
在去年8月24日的“半导体产业高端论坛”上公布的最新数据看，2018年1-6月，中国集成电路产量高达849.6亿块，同比增长15%；产业销售额达到2677.7亿元，同比增长21.6%。其中设计也销售额963.5亿元，同比增长20.2%；制造业销售额741.7亿元，同比增长26.3%；封测业销售额972.5亿元，同比增长21.6%。
数据来源：国家统计局
由此可见，中国的集成电路产业正在保持高速的增长。与此同时，中美贸易冲突也将促使中国集成电路国内市场将进一步扩大，中国电子产业也将加快实现本土集成电路产业链布局，中国集成电路知识产权领域将形成系统布局。
未来我国集成电路产业的创新发展之路，除了优秀技术人才引进、加大自主研发力度外，还要重视集成电路研发生产的基础设施建设。正所谓：“工欲善其事，必先利其器。”我国集成电路产业的创新发展，必须要提高其工艺生产技术。而集成电路的生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格。说到生产环境，首当其冲的是洁净室。
由于集成电路生产技术的特殊性，它对于生产环境的洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路的洁净生产车间的洁净度，湿度温度的要求更高。
集成电路的洁净生产车间从送风系统方式划分一般也有三种形式：集中送风系统、隧道系统和FFU系统。近几年来，FFU系统越来越得到集成电路生产企业的青睐，尤其是在亚太地区。国内也不例外，已建的和在建的8”、12”集成电路生产车间几乎都采用FFU系统，主要原因是：
一、灵活性：在三种系统中，FFU系统的灵活性是最好的，这点特别适应当今IC生产技术飞速发展的要求，由于随着产品生产工艺的发展洁净度等级需求也会不断严格。
二、调控性：和集中式送风系统相比，FFU系统各区空气交叉的情况相对要少，可以实现较高精度的温湿度控制。
三、可靠性：可以通过远程软件控制百、千台风机的运转、调速、工作状态查询等。可及时准确地查找出运转不正常的风机。
四、气密性与空间利用：FFU系统由于风机直接设在工作区上方，因此工作区相对于回风道及上静压箱为正压，工作区以外污染物极少因泄漏进入工作区。
五、低能耗：风机的内部装置扩散板，风压扩散均匀。马达效率高，系统消耗电流低，节约能源成本。
同时，用户可以根据洁净厂房中央空调系统控制方式、洁净室内FFU的数量以及对FFU控制系统要求来选择经济、合理的控制方式。
KLC FFU电脑群控系统，FFU可控制数量：≤64516台
随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路生产洁净车间的洁净度和节能创新也需要不断提升，为先进制程产品生产提供保障。为集成电路生产企业提供更优质的空气净化产品和更合适的空气净化解决方案，是KLC一直所坚持的服务理念，也是我们未来前进的方向！
KLC FFU电脑群控系统
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